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熱成像顯微鏡
熱成像顯微鏡用于微米級器件的熱能分析,用于微器件熱規則的確立,具有靈敏度高,光學分辨率低等優點。廣泛應用于MEMS檢測,化學,生物學,材料科學,礦物學
可見+紅外
同時查看樣品采集和視覺圖象,樣品觀看和采集特征允許技術人員預覽譜圖的同時觀看樣本,確保準確的采樣位置從而保證了光譜圖的質量。
雙光觀察
提供了高品質的光學和紅外表現,好的紅外顯微鏡既提供了良好的光學(白光)性能以便使用者觀察樣品,又提供了良好的光譜學性能,從而獲得高質量的譜圖。
光路特點
一般采用直射光路系統,只使用一個光闌,這樣可以使衍射光減到最小。允許技術人員采集極小的樣品時不受周圍基質的干擾。
基本參數