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熱成像顯微鏡
熱成像顯微鏡用于微米級器件的熱能分析，用于微器件熱規則的確立，具有靈敏度高，光學分辨率低等優點。廣泛應用于MEMS檢測，化學，生物學，材料科學，礦物學
可見+紅外
同時查看樣品采集和視覺圖象，樣品觀看和采集特征允許技術人員預覽譜圖的同時觀看樣本，確保準確的采樣位置從而保證了光譜圖的質量。
雙光觀察
提供了高品質的光學和紅外表現，好的紅外顯微鏡既提供了良好的光學(白光)性能以便使用者觀察樣品，又提供了良好的光譜學性能，從而獲得高質量的譜圖。
光路特點
一般采用直射光路系統，只使用一個光闌，這樣可以使衍射光減到最小。允許技術人員采集極小的樣品時不受周圍基質的干擾。
基本參數
